Travaux Pratiques

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Programme

Cours (6h)
Diagnostics :
spectroscopie d’absorption optique (diode laser, FTIR, lampe à cathode creuse, continuum), fluorescence induite par laser (diode laser, laser OPO et YAG à colorants, TALIF), sondes de Langmuir (détermination des densités et températures électroniques, fonction de distribution en énergie).

Description des réacteurs du laboratoire :
réacteur à configuration hélicon (les différents modes de couplage de la puissance RF : capacitif, inductif, Gould et Trivelpiece, hélicon), réacteur ECR, réacteur PVD de pulvérisation cathodique magnétron.

TP Réacteur PVD magnétron
Etude du transport (balistique et thermalisé) des atomes pulvérisés d’une cible de tungstène, titane ou aluminium. Mesure par fluorescence induite par diode laser de la fonction de distribution en vitesse des atomes pulvérisés. Mesures en plasma basse puissance (continu, Direct Current) et haute puissance (pulsé, High Power Impulse Magnetron Sputtering).

TP Réacteur ECR/RF
Etude d’un procédé plasma utilisé pour la synthèse de films de SiCN. Caractérisations in situ par FTIR (et/ou réflectométrie laser) des films formés et du plasma par spectroscopie optique d’émission.

TP sur le réacteur à configuration hélicon
Etude des différents modes de couplage de la puissance RF en plasmas générés dans le mélange Ar/H2. Caractérisation des modes de couplage par sondes de Langmuir et spectroscopie optique d’émission.

Responsables

Ludovic.Depoucques@univ-lorraine.fr

Intervenants

Ludovic de Poucques et Robert Hugon

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